本文標題："光學(xué)、機械輪廓儀-高精度粗糙度測量?jì)x"
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光學(xué)、機械輪廓儀-高精度粗糙度測量?jì)x
由于表面粗糙度對光學(xué)、機械、電子性能的重要影響，導致了表
面粗糙度評價(jià)和測量的各種技術(shù)極大發(fā)展。通常以光學(xué)表面粗糙度
的測量技術(shù)可以分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是直接測量表面輪廓，并從表面
輪廓測量中獲得表面特性的統計參數。例如械械觸針或輪廓儀法，
光學(xué)輪廓儀及光學(xué)外差輪廓儀法。另一類(lèi)是測量表面的統計參數，
而并不是到輪廓。這種技術(shù)目前有光散射法、激光散斑法等。
表面粗糙度的基本表示法
通常的工程是經(jīng)過(guò)各種加工處理的，它們的表面結構很復雜。
例如經(jīng)磨削加工的機械零件，其表面具有明顯、規劃、周期性紋路
。但有些加工處理的零件表面可能是向各向同性的；即沿各個(gè)方向
測量得到的結果是相同或類(lèi)似的，而它的結構卻是隨機的。對大部
分工程來(lái)說(shuō)，它們的表面顯微結構是各向異性，而且是周期和隨機
特性二者的綜合。為了對表面形貌作定量的研究，發(fā)展了若干統計
參數和函數來(lái)表示表面的粗糙度特性。這些統計參數表征了表面形
貌的兩個(gè)基本方面；即表面的高度起伏（振幅）和這些起伏之間的
縱向間隔（有時(shí)稱(chēng)作波長(cháng)）。
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