本文標題："光學(xué)零件輪廓形狀測量都是非接觸測量,測量顯微鏡"
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光學(xué)零件輪廓形狀測量都是非接觸測量,測量顯微鏡
形狀測量
使用莫爾拓撲法的測量其最大特點(diǎn)是非接觸測量，它適用于
以往不可能測量的對象．現在來(lái)記述一下已能測量的例子．在整塊
布面上，將用縫紉機軋出的表面形狀進(jìn)行數字化是不容易的．
測量法得到的用縫紉機軋制布料表面形狀的等
高線(xiàn)圖像．此時(shí)等高線(xiàn)的間隔是1．Omm．為從這個(gè)等高線(xiàn)圖形中將
布料各點(diǎn)的值數值化，要使用分析裝置．用得到的數據作成所需的
斷面上的斷面圖．斷面圖的繪制也可使用分析裝置以數字化連續
進(jìn)行．
機械零件等產(chǎn)品往往要求l0μm-一1．Oμm左右的粗表面平面
度．對于幾個(gè)駐組的乎麗度測量，利用光波波長(cháng)的干涉測量法是
合適的，但是對于10μm—1.0μm的平面度測量，就不能采用干
涉法．這種情況的零件其表面狀態(tài)往往也是粗糙的，從這一方面
來(lái)看也不能應用表面干涉法．利用莫爾拓撲測量法的平面度測量
可適用于這樣的零件．
它適用于因淬火而造成的齒形變形能
從法蘭盤(pán)面的變形加以推斷的情況．若利用莫爾拓撲測量作為臨
界值樣板使用，則對零件的挑選是有利的．莫爾條紋是數字量，
利用莫爾條紋的條數作成臨界值進(jìn)行挑選，可容易地引入到加工
過(guò)程中．
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