本文標題："層的厚度測量各種物理分析顯微鏡,精確測量晶格"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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層的厚度測量各種物理分析顯微鏡,精確測量晶格
物理分析
各種物理分析技術(shù)。從樣品的物理分析可以
得到晶向、晶體完整性、缺陷與位錯密度、切割或拋光損傷的程
度、層的厚度測量以及表面沾污的研究等情況。在大多數情況
下，體材料和表面的分析方法之間是沒(méi)有明顯差別的，而在有差
別的地方
腐蝕和顯微術(shù)
物理分析最重要的方面是采用普通顯微鏡或電子顯微鏡直接
觀(guān)察材料。結構缺陷常?？梢岳眠m當的腐蝕方法來(lái)增強。這個(gè)
方法的突出的優(yōu)點(diǎn)是效率高而且不需要昂貴的儀器設備。
X射線(xiàn)技術(shù)
在各種方法中，利用X射線(xiàn)花樣是有益的。勞埃法通常用于
單晶定向，使晶體受到白X射線(xiàn)束的照射。為了保證晶體中各個(gè)
平面都能滿(mǎn)足布拉格定律，必須使X射線(xiàn)束的波長(cháng)范圍適應這種
變化的需要。一般是攝取背反射照片，所得的光斑花樣位于雙曲
線(xiàn)上。所有的光斑均是從單晶區的各個(gè)平面反射而產(chǎn)生的。這種勞
?；臃从吵鼍w的對稱(chēng)性。體單晶是按大致給定的方向切割的，
然后把它裝在測向器的支架上，再在X射線(xiàn)裝置上進(jìn)行調準。定
向以后可以把整個(gè)部件安裝在切割機上，按給定的方向切割。
透射X射線(xiàn)形貌圖是另一種非常有用的方法，不僅適用于位
錯的觀(guān)察，而且也適用于精確測量晶格參數和應力的分布。對于
砷化鎵和磷化銦來(lái)說(shuō)，為了使X射線(xiàn)透過(guò)去，必須將樣品減薄到
70微米左右。反射形貌圖就不受厚度的限制，使測量能在很淺的
表面層內進(jìn)行。穿透深度是反射平面的函數，它決定了表面的傾
角和布拉格角。采用CuK射線(xiàn)，對砷化鎵來(lái)說(shuō)，其穿透深
度在0．5到22微米之間，而對磷化銦來(lái)說(shuō)，其穿透深度為0．3到11
微米
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