本文標題:"超光滑表面微觀(guān)形貌檢測儀器分析電子顯微鏡"
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超光滑表面微觀(guān)形貌檢測儀器分析電子顯微鏡
超光滑表面微觀(guān)形貌檢測儀器分析與選擇
目前,超精密表面形貌的測量與評定已成為國內外學(xué)者研究的
重要方向。由于近年超精密表面測量?jì)x器和測量方法的逐步完善,
使得納米級表面測量技術(shù)快速發(fā)展起來(lái),但是隨之問(wèn)題也逐漸暴露
出來(lái)。由于對超精密表面的檢測沒(méi)有統一的標準和測量?jì)x器,用不
同測量?jì)x器檢測的結果差異很大,無(wú)法斷定哪一種方法測得的表面
形貌更接近真實(shí)表面、可信度更高。因此,需要對常用檢測超精密
表面微觀(guān)形貌的方法與儀器原理、性能進(jìn)行分析論述,分析這幾種
測量?jì)x器的誤差成因.空問(wèn)分辨率及適用范圍,以期能找到滿(mǎn)足測
量要求的儀器,得到比較可靠的測量結果,為準確地測量超精密表
面提供依據。
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