本文標題："自適應光學(xué)鏡頭的設計制造-光學(xué)分析顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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自適應光學(xué)鏡頭的設計制造-光學(xué)分析顯微鏡
自適應反射鏡三種常見(jiàn)的形式。結構的特征在于利用強迫位移
作動(dòng)器對運動(dòng)進(jìn)行控制，同時(shí)還使用了一系列力作動(dòng)器。位移作動(dòng)
器具有相對高的剛度，兇此可以作為支撐結構，以及作為控制鏡片
剛體運動(dòng)的一種高效率的方式。力作動(dòng)器通常是一種低效率的應用
方式，它可以在兩個(gè)點(diǎn)之間傳遞一個(gè)相等且反向的理想力對。為承
受自適應面形控制過(guò)程中產(chǎn)生的作動(dòng)力，這種構型通常還需要使用
一個(gè)相對剛性的反作用結構。從圖中還可以看到，力矩作動(dòng)器是通
過(guò)一一個(gè)力作動(dòng)器加上一個(gè)力矩臂來(lái)實(shí)現的。結構的特征在于應用
了一系列高效率的位移作動(dòng)器。在自適應面形控制以及組件承受載
荷的時(shí)候，位移作動(dòng)器需要作用于一個(gè)剛性相對較大的反作用結構
上。描述的結構其特征在于使用了內置作動(dòng)器的鏡片，并且鏡片裝
配在位移作動(dòng)器上。由于作動(dòng)載荷在鏡片內部發(fā)生作用，因而，這
種構型消除了對反作用結構的需求。不過(guò)，這種內置作動(dòng)器的實(shí)現
方式，
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