本文標題:"工件輪廓的非接觸式光學(xué)量測影像測量?jì)x器-顯微鏡廠(chǎng)家"
發(fā)布者:yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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工件輪廓的非接觸式光學(xué)量測影像測量?jì)x器
提供一種用光學(xué)與影像處理方式對輪廓複雜的工件,
進(jìn)行快速、精確且為非接觸式的量測方法。
工件輪廓的非接觸式光學(xué)量測方法,包含一個(gè)架設光源、發(fā)散物鏡、準直透鏡,及成像屏幕的光學(xué)檢測系統架設步驟
一個(gè)將標準工件置于光學(xué)檢測系統中擷取繞射圖像并轉換成繞射條紋數位資料的比對資料建立步驟
、
一個(gè)將待量測的工件置于該標準工件放置的位置以擷取繞射圖像并轉換成待測繞射條紋數位資料的量測步驟,
及一個(gè)計算該待測繞射條紋數位資料與比對繞射條紋數位資料的差值并將差值轉換成一輪廓瑕疵影像的資料比對分析步驟,
本發(fā)明在不需接觸工件而不虞產(chǎn)生破壞性接觸的狀況下,快速且精密的量測得到工件輪廓。
本發(fā)明之目的,即在提供一種非接觸式、可以快速進(jìn)行精密量測、
且可以同時(shí)于生產(chǎn)加工線(xiàn)上進(jìn)行的工件輪廓的非接觸式光學(xué)量測方法。
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