本文標題："影響測量的分辨率和形狀-達到數十微米"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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影響測量的分辨率和形狀-達到數十微米幾種基于米勞干涉原理或者邁克爾孫干涉原理的測量
儀器可以實(shí)現高度小于1 nm的測量，其相應的軟件可以呈
現最大高度的變化和斜率相對于統計周期的變化，或者超過(guò)
毫米級孔徑的功率譜密度問(wèn)題。
商用的斐索干涉儀可以給出斜率統計的報告，其橫向空
間分辨率最好時(shí)可以達到數十微米。
探針式輪廓儀采用線(xiàn)性?huà)呙鑱?lái)實(shí)現測量。其探針直徑
的大小直接影響測量的分辨率和掃描形狀。目前探針的半
徑可以做到0．2μm以下。此外．探針接觸力的大小很容易
超過(guò)材料的屈服強度．因此合適的校準和振動(dòng)隔離是至關(guān)重
要的。
原子力顯微鏡AFM的探針半徑在納米范圍．可以測
量的高度達到0．04nm(原子半徑)．但掃描整個(gè)區域的速度
很慢。
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