本文標題："柱狀微結構的表面輪廓量測可以使用那些儀器"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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柱狀微結構的表面輪廓量測可以使用那些儀器
柱狀微結構在 40X 物鏡下的光學(xué)顯微鏡觀(guān)察影像，是以差動(dòng)共焦顯微術(shù)系統進(jìn)行掃瞄，
以 632.8 nm 波長(cháng)的雷射光源，搭配數值孔徑 0.65 的 40X 物鏡。圖六(c)
是沿著(zhù)(b)圖中的虛線(xiàn)所得到的縱向剖面數據分析，可以得到柱狀結構的直徑與高度。由于
柱狀微結構深寬比大，且分佈密度高，一般的探針式表面量測技術(shù)，例如探針表面輪廓儀
或原子力顯微鏡(AFM)、
探針式掃瞄顯微鏡(SPM)，由于針尖形狀與掃瞄機制受限，對于此類(lèi)型的樣品，無(wú)法提供準確且不具傷害性的量測結果。
一般若要量測高深寬比或高週期密度的微米尺度元件，都需要采用 SEM，然 SEM 造價(jià)高昂且操作不易。而差動(dòng)式共焦顯微
術(shù)的微米級動(dòng)態(tài)范圍與奈米尺度的縱向解析度，與光學(xué)技術(shù)的非接觸表面量測特性，對于
柱狀微結構的表面輪廓量測，提供了新的解決方案
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