本文標題："晶圓切削泥材料的主要成分簡(jiǎn)介-材料檢測顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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晶圓切削泥材料的主要成分簡(jiǎn)介-材料檢測顯微鏡
矽晶圓為多晶矽材料的下游，為矽晶太陽(yáng)能電池的上游，
制程上矽晶圓切削矽泥主要回收產(chǎn)物包括廢有機溶劑、碳化矽與矽2 項，
矽泥之組成主要成分為有機溶劑、碳化矽(SiC)、矽(Si) 與微量的鐵等組成，
一般回收業(yè)者先行回收DEG 或PEG( 二乙二醇或聚乙二醇等溶劑) 之后，
利用旋轉式真空離心、過(guò)濾等方式，以物理分選程序，利用矽與碳化矽之粒徑大小不同，
采連續式真空高速離心(Decander) 分離固液二項，固相回收大顆粒的碳化矽固體料，
液相則為剩馀小顆粒，成份為矽、少量碳化矽以及鐵等金屬之混合物，在經(jīng)濾網(wǎng)壓濾后乾燥，
制成不同等級的煉鋼用脫氧劑產(chǎn)品販售。固相碳化矽之純度需達98.5% 以上冶煉等級，
利用多次酸堿反應，調整反應槽的pH 值與經(jīng)多次水洗壓濾及乾燥程序，提昇碳化矽回收物之A 級品純度高于98.5%，
不但解決業(yè)者目前僅能回收廢有機溶劑技術(shù)瓶頸，
也可回收與販售不同等級矽與碳化矽再生產(chǎn)物( 二次料)，
也能大幅降低太陽(yáng)能矽晶圓產(chǎn)業(yè)對于碳化矽原料( 一次料) 依賴(lài)，減低碳化矽原料高耗能提煉對于環(huán)境衝擊。
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